HAC-202型年產(chǎn)400MW非晶硅/晶體硅異質結太陽電池用全自動熱絲CVD非晶硅薄膜生長線
● 基本功能：
每小時8000片166硅片，最大可兼容210硅片；配套其它國產(chǎn)先進產(chǎn)線設備可實現(xiàn)量產(chǎn)平均電池效率>24.5%。
運行性能穩(wěn)定、維護簡易、成本低：
設備免維護周期長。~30天維護保養(yǎng)一次。無需每天刻蝕清洗載板和腔體。
自制熱絲耗材，承諾長期平價供應。
鍍膜氣壓低、氣耗低。相比PECVD粉塵大幅度減少、用氣成本降低。
立式結構：可有效避免鍍膜產(chǎn)生的粉塵顆粒污染表面，提高連續(xù)生產(chǎn)太陽電池填充因子和良品率。
自動化與載板協(xié)調同步設計。減少設備宕機，減少設備維護難度和備件庫存；減少設備備件維修成本。
● 鍍膜質量好，無等離子對界面的損傷。
全部產(chǎn)品
每小時4000片166硅片，最大可兼容210硅片；配套其它國產(chǎn)先進產(chǎn)線設備可實現(xiàn)量產(chǎn)平均電池效率>24.5%。
每小時8000片166硅片，最大可兼容210硅片；配套其它國產(chǎn)先進產(chǎn)線設備可實現(xiàn)量產(chǎn)平均電池效率>24.5%。
非標定制設備，主要用于在單晶硅片上采用熱絲CVD方式鍍制非晶硅p層、非晶硅i層、非晶硅n層；采用磁控濺射（PVD）方式鍍制TCO薄膜。
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